應用領域：

適合蒸鍍對氧較敏感的(de)金屬膜（ 如 Al、Au、Ag、Cu 等），也可(ke)蒸(zheng)鍍(du)各種氧化(hua)物材(cai)料(liao)。可(ke)實現對有機(ji)材(cai)料(liao)的蒸(zheng)發鍍(du)膜，可(ke)滿 足發光器件 如(ru) OLED（有機(ji)發(fa)光(guang)二極管）。及有機(ji)太陽能電(dian)池方面的(de)研究要求，是一款鍍膜效果理想且性(xing)價(jia)較(jiao)高的(de)實驗設備。 可鍍制低熔點金(jin)屬及合(he)金(jin)材料薄膜，單層 / 多層(ceng) / 復(fu)合膜(mo)，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；鍍制非金屬(shu) / 化(hua)合物等 材(cai)料薄膜（ Mo03, LiF） 等(deng)；有機(ji)材料(liao)等(deng)蒸發(fa)；太陽能電池、LED 的研(yan)究和(he)實驗；描電(dian)鏡(jing)制樣(yang)等

基本配置：

◆真(zhen)空腔室：350×400mm 不銹鋼 D 形腔(qiang)體(ti)。前門鉸鏈方便(bian)真空室清理；腔(qiang)室底板，頂部和側面裝(zhuang)有(you)腔(qiang)室內硬件(jian)接(jie)口；前 門(men)上配(pei)直徑(jing) 80 玻璃(li)觀(guan)察窗（含(han)手動(dong)防污染擋板、可拆洗(xi)防污玻璃(li)）；腔體可選擇(ze)水冷。 

◆抽氣系(xi)統： 采用復合分子泵 + 直(zhi)聯旋片泵作為真空(kong)抽(chou)氣(qi)系(xi)統(tong)； 主(zhu)抽泵：分子泵抽速≥ 600L/S，氮(dan)氣壓縮比≥ 109 ； 前級泵：VRD-24 機械泵及電(dian)磁閥，抽速(su)：6L/S 主抽閥(fa)： CCQ-150 超(chao)高真空氣(qi)動插板閥 

* 真空系(xi)統可以升級(ji)為進口(kou)分子(zi)泵和(he)渦(wo)旋干泵。 

◆真(zhen)空(kong)測(ce)量：數顯復合真(zhen)空(kong)計： “兩低一(yi)高”全量程數顯復合真空(kong)計； 

* 真空(kong)測(ce)量(liang)可以(yi)升級為進口(kou)全量(liang)程冷陰極真空(kong)計 

◆極限真(zhen)空：<5×10-5Pa ◆恢復真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) ◆熱蒸發(fa) / 有機物蒸發源： 最多(duo) 4 組金(jin)屬蒸發(fa)源，水冷電極和盒式防(fang)污染蒸發(fa)源；（可選配置） 最多(duo) 4 個有機(ji)束源(yuan)爐，采用(yong)氧化鋁或石(shi)英坩堝（2CC）（可(ke)選配(pei)置） 

◆蒸發電(dian)源：采(cai)用(yong)恒壓、恒流真空(kong)鍍膜電(dian)源，最大輸(shu)出(chu)功率 2.4Kw； 電流調節精度 0.01A，電壓調節(jie)精度 0.01V，數量：2 臺 

◆樣品臺：可(ke)容納(na)樣品最大尺(chi)寸：4 英(ying)寸樣品托一個 , 配擋板，轉(zhuan)速 0-30rpm 連續(xu)可調(diao) ; 樣(yang)品可加熱控溫， 溫度范(fan)圍(wei)：室溫 -600℃，控溫精度(du) ±0.5℃； 

◆系統控制：10 英寸觸摸屏 +PLC 控(kong)制（可選(xuan)手動按(an)鈕）

選擇配(pei)置：

◆樣品臺可水冷，采用(yong)直接式(shi)水冷形式(shi)，水冷不(bu)控溫 

◆速率 / 膜厚(hou)監(jian)測儀(yi)（SQM-160） 薄膜鍍層(ceng)控制儀（SQC-310） 

◆可(ke)選進(jin)口蒸發電(dian)源 ◆全量程真(zhen)空計 (Inficon) 

◆樣品托 : 不銹鋼、鋁(lv)或銅，基片盤(pan)上有螺紋孔。

系統要(yao)求標準(zhun)配置：

◆工藝氣體 :25psi，純度(du) 99.99% 以上 

◆工(gong)作氣體 : 干燥壓縮空(kong)氣、氮(dan)氣 

◆電 源(yuan) : 單相 220V, 50Hz,32A 

◆冷 凍 水(shui) :18-25℃ , 3L/min，壓力 <0.4MPa