應用領域：

該系統可(ke)用于(yu)開發納(na)米級的單層及多(duo)層功能膜(mo)(mo)和復(fu)合(he)膜(mo)(mo) , 可(ke)鍍金屬(shu)、合(he)金、化合(he)物(wu)、半導體、陶瓷(ci)膜(mo)(mo)、介質復(fu)合(he)膜(mo)(mo)和其它(ta)化學 反(fan)應膜(mo)(mo)等。

螺紋孔基片盤：

基本配置：

◆真空(kong)腔(qiang)室：350×400mm 不銹鋼(gang) D 形(xing)腔(qiang)體。前門(men)鉸鏈(lian)方便(bian)真空(kong)室清理(li)；腔(qiang)室底板(ban)，頂部和側(ce)面裝有腔(qiang)室內硬件接口；前 門(men)上配直徑 80 玻璃觀察(cha)窗（含手動(dong)防(fang)污(wu)染擋板(ban)、可(ke)(ke)拆洗防(fang)污(wu)玻璃）；腔(qiang)體可(ke)(ke)選擇(ze)水(shui)冷。 

◆抽(chou)(chou)氣系統： 采用復合分子(zi)(zi)泵 + 直聯(lian)旋片(pian)泵作(zuo)為(wei)真空抽(chou)(chou)氣系統； 主(zhu)抽(chou)(chou)泵：分子(zi)(zi)泵抽(chou)(chou)速≥ 600L/S，氮氣壓縮比≥ 109 ； 前級泵：VRD-24 機械(xie)泵及(ji)電磁(ci)閥，抽(chou)(chou)速：6L/S 主(zhu)抽(chou)(chou)閥： CCD-150 超高真空電動插板閥 

 * 真空系統可以升(sheng)級為進口分子(zi)泵和渦旋(xuan)干泵。 

◆真(zhen)空測量(liang)：數(shu)顯復合真(zhen)空計： “兩低一高”全量(liang)程數(shu)顯復合真(zhen)空計； 

* 真空測量可以升(sheng)級為(wei)進口全量程冷陰極真空計 

◆極限真(zhen)空(kong)：<5×10-5Pa ◆恢(hui)復真(zhen)空(kong)：<6.7×10-4Pa(< 45 min)&nbsp;

◆磁(ci)控濺射(she)靶：（最多安裝三(san)個(ge)磁(ci)控濺射(she)靶）磁(ci)控濺射(she)靶磁(ci)路模塊化設計；磁(ci)控靶可手動調節濺射(she)角度(du)，靶與基片的(de)距離可調； 其中一個(ge)靶位可濺射(she)磁(ci)性材料（如(ru)鎳或鐵等）靶材大小為直(zhi)徑 50.8mm，建議(yi)厚度(du)≤ 5mm，靶材利用率超過 40%； 

◆鍍(du)(du)膜(mo)方式：由下往(wang)上濺鍍(du)(du)或從上往(wang)下濺射，可依需求(qiu)采用 Confocal（共焦）或 Face-to-Face（面對面）； 

◆濺射電(dian)源： 射頻電(dian)源：功率(lv)(lv) 300W，輸出(chu)(chu)頻率(lv)(lv)：13.56MHz，全自(zi)動匹(pi)配 數量：1 臺 直(zhi)流電(dian)源：最大輸出(chu)(chu)功率(lv)(lv)：500W；輸出(chu)(chu)電(dian)壓：0 ～ -800V 可(ke)調 數量：1 臺 

◆工藝氣(qi)路（可選）：三路質量流量計(ji)控制的氣(qi)路（Ar、O2、N2 ）等 

◆樣(yang)品(pin)臺：可(ke)容納樣(yang)品(pin)最大(da)尺寸(cun)：4 英寸(cun)樣(yang)品(pin)托一個 , 配擋(dang)板，轉速(su) 0-30rpm 連續可(ke)調(diao) ; 樣(yang)品(pin)可(ke)加熱控溫(wen)， 溫(wen)度范圍：室溫(wen) -600℃，控溫(wen)精度 ±0.5℃； ◆系統控制：15 英寸(cun)觸摸屏 +PLC 控制（可(ke)選(xuan)手(shou)動按鈕）

選擇(ze)配置：

◆樣品臺可水(shui)冷(leng)，采(cai)用直接式水(shui)冷(leng)形(xing)式，水(shui)冷(leng)不控溫&nbsp;

◆可選進口濺(jian)射電源 

◆磁控(kong)靶可選(xuan)用歐(ou)美知名品牌(pai) 

◆全量程真空計 (Inficon) 

◆電容式隔膜(mo)真空計 ( 測(ce)量濺射工作壓力 ) 

◆樣品托 : 不銹(xiu)鋼、鋁或(huo)銅(tong)，基片盤上有螺紋孔。

系統要求標準配置：

◆工(gong)藝氣體 :25psi，純度 99.99% 以上 

◆工作氣(qi)體 : 干(gan)燥壓縮空氣(qi)、氮氣(qi) 

◆電 源(yuan) : 單相 220V, 50Hz, 32A 

◆冷 凍 水(shui) :18-25℃ , 3L/min，壓(ya)力 <0.4MPa