DHRP-1 電感耦合射頻等離子體裝置
裝(zhuang)置將 13.560MHz 射頻源加至(zhi)反應室外的(de)電(dian)(dian)感線圈 , 用(yong)電(dian)(dian)感耦合(he)方(fang)式激勵(li)氣體(ti) , 使其放電(dian)(dian)產生等(deng)(deng)離子體(ti) . 這(zhe)種方(fang)式具有放電(dian)(dian)效率高、無電(dian)(dian)極(ji)放電(dian)(dian)污染的(de)特點(dian) , 并(bing)可以(yi)獲得純凈的(de)等(deng)(deng)離子體(ti) . 裝(zhuang)置適合(he)大學(xue)(xue)物(wu)理(li)、材料、化(hua)學(xue)(xue)等(deng)(deng)領域科學(xue)(xue)研(yan)究之(zhi)用(yong)。
實驗內容
1、等(deng)離子體(ti)消(xiao)毒(du)滅菌實(shi)驗 , 如大腸桿菌 (8099)、金(jin)黃色葡萄球菌 (ATCC6538);
2、等離子(zi)體材(cai)料(liao)表面改(gai)性(xing)實驗 , 如(ru)紙張親(qin)水性(xing)、紙張接(jie)觸角(jiao);
3、等離子體材料表面清洗實驗;
4、等離子體(ti)聚合實驗(yan)。
主要技術參數
1、等(deng)離子體腔體體積:φ140mm×(H)155mm;
2、射頻(pin)功率: 0 ~ 500W;頻(pin)率:13.560MH Z ;
3、工作氣壓: 20 ~ 200Pa(建議(yi)工作在(zai) 100 Pa 以(yi)下);
4、反應腔本底(di)真空: ≤ 5Pa;
5、反應(ying)腔(qiang)極限真空: 1×10 -1 Pa;
6、等離(li)子體電子溫度: 1 ~ 8Ev;
7、流量(liang)控制(zhi)器(qi): 0 ~ 1000sccm;
8、工(gong)作(zuo)電壓: AC220V±5% 50Hz;
9、整機功(gong)率(lv): ≤ 1.5KW;
10、整機重量(liang): 約 100Kg;
11、外形尺(chi)寸: 長 650× 寬(kuan) 610× 高 1000mm。